Technologie, der wir vertrauen können


Die Firma ERS Electronic GmbH in Germering bei München hat sich auf die Entwicklung präziser Wafer – Test – Technologie spezialisiert.


Das moderne Unternehmen stellt somit ein wesentliches Bindeglied in der Entwicklung von Mikroprozessoren und deren Funktionalität dar. Elektronische Bauteile unterliegen, da sie sich in nahezu jedem elektronischen Bauteil befinden, extremen Anforderungen. Grundlage moderner Elektronik sind dabei Halbleiter, die in Serie hergestellt, genauesten Anforderungen unterliegen.
Wafer, jene in der Halbleiterindustrie kreisrunde, einige 100 µm dicke Scheiben, stellen hierbei die Grundlage dar. Hunderte Mikroprozessoren befinden sich auf Wafern, bevor sie, einzeln ausgestanzt, in Bauteilen ihre Verwendung finden. Die Großserienproduktion ermöglicht es elektronische Bauteile wie Chips kostenminimiert herzustellen. Da diese Bauteile von der Uhr bis zum hochmodernen Steuerungsgerät bei Satelliten Einsatz finden, steht die Präzision an oberster Stelle.

Je nach Größe der ICs befinden sich zwischen wenigen Hundert und einigen 10.000 davon auf einem Wafer. Nach der Herstellung des Wafers wird jeder Chip getestet. Dabei werden alle wesentlichen Funktionen des ICs abgeprüft. Obwohl diese Messungen auf speziellen Testsystemen vollautomatisch ablaufen, haben die damit verbundenen Kosten bei hochintegrierten Prozessorchips bereits nahezu die Herstellungskosten erreicht.

Für die meisten Anwendungen müssen die Oberflächen der Wafer optisch spiegelnd poliert sein. Hinsichtlich der Ebenheit der Wafer, der Perfektion der Politur und der Reinheit der Oberfläche gelten extreme Forderungen. So sind beispielsweise Unebenheiten von nur wenigen nm über die gesamte Waferfläche zulässig.
Wafer, die den parametrischen Test nicht bestehen, werden komplett aussortiert, da diese Fehler auf einen außerhalb der Spezifikation liegenden Herstellungsschritt zurückzuführen sind, der folglich alle Chips betrifft.
Zusätzlich zu diesem Funktionstest, der die Aufgabe hat, nicht funktionierende Chips zu erkennen, werden parametrische Messungen auf dem Wafer an so genannten PCMs (Process Control Module) durchgeführt. Dabei werden die wichtigsten elektrischen Parameter der verwendeten Bauelemente an speziellen Teststrukturen ermittelt. Die elektrischen Parameter müssen bestimmte Spezifikationen einhalten, um sicher zu stellen, dass die Chips im gesamten zulässigen Temperaturbereich und über die volle spezifizierte Lebensdauer zuverlässig arbeiten.

Die ERS Electronic GmbH hat für diese Tests mehrere spezielle Testgeräte entwickelt, um die Wafer in Temperaturbereichen von -60 bis +300 Grad Celsius zu messen. Diese Geräte, mit dem Namen AirCool* Chuck System können Temperaturbereiche von – 60 bis + 300 Grad Celsius abgedecken, mit einer Stabilitätsprüfung von größer als 35000 Stunden. Die Präzision der ERS Chuck Systems gewährleistet die höchstmögliche Fehlergenauigkeit und Messmöglichkeit die heutzutage machbar sind. Allesamt Grundlagen für präzise Chipherstellung und kostenminimierende Herstellungsweisen. Dadurch ist die ERS Electronic GmbH der zukunftssichere Partner, der modernste Technologie weltweit anbietet und zu einem der Marktführer auf diesem Gebiet geworden ist. Von Germering - für die Welt- ERS Electronic GmbH.

ERS Electronic GmbH
Stettiner Strasse 3 + 5
82110 Germering/München
Germany
Tel: 089 / 89 41 32-0
Fax: 089 / 841 87 66
Hotline: 089 / 89 41 32 - 500
Email: info@ers-gmbh.de
Internet: www.ers-gmbh.de


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